1.1硅和锗的化学制备
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1.2相图
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2.1区熔提纯
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3.1晶体生长
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3.2晶体生长
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4.1硅、锗晶体中的杂质和缺陷
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4.2硅、锗晶体中的杂质和缺陷
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5.1硅外延生长
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5.2硅外延生长
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5.3硅外延生长
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